工業廢氣處理設備是為凈化含有煙氣煙塵、粉塵顆粒物、有毒有害氣體以及異味氣體等的工業廢氣，但是不同的工業廢氣采用的廢水處理設備是不一樣的。

市場上常見的廢氣處理設備：有機廢氣凈化設備、酸堿廢氣凈化設備、工廠煙塵廢氣凈化設備、車間粉塵廢氣凈化設備、廢氣異味凈化設備以及化工廢氣凈化設備等。

廢氣處理設備可以處理家具廠、食品廠、油漆廠、汽車廠、化工廠、電子廠、橡膠廠、塑料廠、石油化工等領域的廢氣。

工業廢氣主要包含了乙醇、丙烯酸、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、丙酮丁酮、二氧化硫、硫化氫等有機廢氣。

廢氣處理工藝有稀釋擴散法、水吸收法、曝氣式脫臭法、催化氧化工藝、低溫等離子體，根據廢氣的性質設備細分為吸收設備、吸附設備、凈化設備、治理設備、光催化和生物凈化設備。

以可揮發性性可燃性氣體處理為例：

VOCs首先經過蓄熱室預熱，然后進入燃燒室，加熱升溫到800℃左右，使VOCs氧化分解成CO2和H2O;

氧化后生成的高溫煙氣再通過另一個蓄熱室釋放熱量，然后排出RTO系統。

單個蓄熱室在進氣、吹掃、排氣三種狀態之間反復切換，當一個循環后，VOCs始終進入到在上一循環時排出凈化氣的蓄熱室，而原來進入VOCs的蓄熱室則用凈化氣或空氣清掃，并將殘留的未反應VOCs送回至燃燒室進行氧化，然后與凈化氣一起從沖洗過的蓄熱室排出。